| 25/02 | . | выращивание эпитаксиальных слоев [3] |
| 25/04 | . | . | отложение образцов, например с использованием защитных слоев [3] |
| 25/06 | . | . | разбрызгиванием продуктов реакции [3] |
| 25/08 | . | . | реакционные камеры; выбор материалов для них [3] |
| 25/10 | . | . | нагревание реакционной камеры или подложки [3] |
| 25/12 | . | . | держатели или приемники подложек [3] |
| 25/14 | . | . | средства для подачи или выпуска газов; изменение потока реакционноспособных газов [3] |
| 25/16 | . | . | управление или регулирование (управление или регулирование вообще G05) [3] |
| 25/18 | . | . | характеризуемое подложкой [3] |
| 25/20 | . | . | . | с подложкой из того же материала, что эпитаксиальный слой [3] |
| 25/22 | . | . | способы получения "сэндвичевых" слоев [3] |